Alignment Stage : SAS
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○ X,Y,Θ 자유도를 가진 모듈을 구성하여 직선 이동 및 회전 운동이 가능
○ 고강성 및 고정밀 위치 제어 구조
○ 콤팩트한 사이즈와 낮은 높은 구현
○ 톱테이블과 베이스 중공 구조로 광학 시스템 적용 가능
○ 모듈의 수량, 배치 등을 통해 대형 사이즈 대응 가능 - 제품사양
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- 제품 보는 법
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- 구조 및 특징
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- 동작원리
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